真空烧结炉设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体设备系列中一种新颖的工艺装备，主要是在真空或者是保护气氛的条件下，通过利用中频感应加热的原理，让硬质的合金刀头以及各种金属粉末压制体实现烧结的一个成套设备，是专门为硬质合金、陶瓷材料以及金属的工业生产而设计的，它是在真空环境里面对被加热物体进行保护性烧结的炉子。
主要优点：
1.减少了气氛中有害成分(水、氧、氮)对产品的不良影响。例如要使电解氢气中含水量降至一4。℃的露点是相当困难的，而真空度只要达到133Pa就相当于含水量为一4。℃的露点。而获得这样的真空度是并不困难的。
2.对于不宜用还原性或惰性气体作保护气氛(如活性金属的烧结)，或容易出现脱碳、渗碳的材料均可用真空烧结。
3.真空可改善液相对固相的润湿性，有利于收缩和改善合金的组织。
4真空烧结有助于硅、铝、镁、钙等杂质或其氧化物的排除，起到净化材料的作用。
5.真空有利于排除吸附气体、孔隙中的残留气体以及反应气体产物，对促进烧结后期的收缩有明显作用。如真空烧结的硬质合金的孔隙度要明显低于在氢气中烧结的硬质合金。
6.真空烧结温度比气体保护烧结的温度要低一些，如烧结硬质合金时烧结温度可降低10。~150℃。这有利于降低能耗和防止晶粒长大。
真空烧结炉的安全操作规程：
1.中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。
2.开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。
3.检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。
4.检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。
5.检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。
6.检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。
7.检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。
8.在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。
9.真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。
10.装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。
11.为了保持恒温，防止热辐射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。
12.垫好真空密封胶带。
13.操作杠杆手把，转动真空炉顶盖与炉体密切重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。
14.徐徐打开蝶阀，抽炉体空气，至真空度达到规定值。
15.在真空度达到规定要求后，开始启动变频，调整中频功率，按有关材质的烧结规定操作;升温、保温冷却。
16.烧结完毕后，停止变频，按停止变频开关，逆变停止工作，断开中频电源分闸与断开电源总闸。
17.从炉体观察孔观察炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，再停水泵。
18.中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中，要注意操作安全，不要用手接触中频电柜。
19.在烧结过程中，随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象，如发现异常现象，应立即报告有关人员处理。
20.启动真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。
21.正确使用转动式麦氏真空计，否则会造成真空读数误差或因操作过急而使水银溢出造成公害。
22.注意真空泵皮带盘安全运行。
23.在垫真空密封胶带，盖炉体顶盖时，注意防止压手。
24.凡在真空条件下，容易挥发影响真空卫生，造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。
25.凡产品加有成型剂(如油或石蜡)，必须脱掉方可入炉烧结，否则会造成不良后果。
26.全部烧结过程中，要注意水表压力范围和冷却水循环，以免发生事故。
时间：2022-08-05
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