1、真空度

一般认为，对冷作模具材料，低合金钢、合金工具钢等淬火加热，真空度可以选择1.33～13.3Pa，高合金钢的真空淬火可以选择1.33×10-3Pa。一般情况下，真空达到一定程度后，要充入一定量的氮气（分压处理），降低真空度，防止材料中合金元素的挥发和粘接。

2、冷却形式

真空炉的冷却有油冷和气冷。目前主要以气冷为主，因为气冷对冷作模具无任何污染和不良影响（油冷在表面微渗碳问题，影响模具寿命），处理后模具表面洁净，不需要清洗，所以冷镦用冷作模具一般以气冷淬火作为。

在同样的气压和流量条件比较下，冷却水流量大者冷却速度明显加快。

3、加热元件形式

真空炉加热元件的形式和材料有一定的不同，一般以板式和棒式为多，材料为高质量石墨。近年来，CFC（碳碳复合材料）表现出较大的技术优势，有取代石墨的趋势。在同样功率的工况下，CFC材料厚度薄，相对蓄热小，有利于提高冷却速度。

4、功能

购置真空炉要考虑工艺的通用性，即淬火＋回火使用温度要宽泛一些，特别是处理高合金钢，回火温度550℃以上，尤其淬火后不出炉直接进行回火十分方便。

5、控制系统

控制系统是真空加热炉的核心部分，确保其可靠性和完善性及其重要。有监控和故障显示、记录功能；对于进口设备需要配备远程监控功能，这样可以保证故障处理的及时性，减少一定的维修费用。