CVD管式炉适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。下面我们主要去看看该设备的使用方法，主要分为以下四个步骤，具体如下：
一、准备工作
1、设计升降温曲线，升温速率不得高于10℃/分钟，降温速率应低于15℃/分钟。
2、清扫环境。
3、每周开始使用时，检查机械泵油线处于标线以上，拆除两端盖，用吸尘器清洁刚玉炉管。
4、将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm）。
5、塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。
6、装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。
二、充工作气体
1、使用氢气作为工作气体时
①接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。
②确认各阀门处于关闭状态。
③逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.1MPa。
④接通机械泵电源，打开出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。
⑤关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭出口阀门，关机械泵。
⑥逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。
⑦逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/min。
⑧逆时针旋动旋钮，打开进气阀，直至气压表读数为零。
⑨打开进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。
⑩在通氢气满十分钟后，才能开始加热。加热前，逆时针调节流量计旋钮，使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。
2、使用惰性气体作为工作气体时
①接通工作气体气路，将气体出口端连接机械泵。
②打开进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，避免炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。
③当真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。
④逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。
⑤逆时针旋动旋钮，缓慢打开进气阀；密切注意气压表，确认气压在0.08MPa以下（如气压高于0.08MPa，打开出气阀放气）。
⑥气压表当气压稳定时，关闭进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关闭出气阀。
⑦重复4、5步两次。
⑧关机械泵，打开进气阀。
三、开炉
1、开启总电源，风扇启动。
2、开面板电源（顺时针转动Lock旋钮），启动面板。
3、使仪表处于初始状态（即PV显示数值，SV闪烁显示Stop），此时若不处于该状态，则按向上键对仪表清零，使仪表只处在测显状态。
4、按向左键1秒，进入温度设定状态，通过按向左键移动光标，按向上键和向下键来调节温度的设定数值。
5、按回车键1秒，进入时间设定状态，通过按向左键移动光标，按向上键和向下键来调节时间的设定数值。
6、程序后一步为时间状态，数值为-121，以结束全部程序，按回车键确定。
7、按住向左键不放，然后按下回车键，则退出程序设置。
8、按向左键进入程序设定状态，再连续按回车键检查设定的程序是否符合预定的升降温曲线。
9、按住向左键不放，然后按回车键复位。
10、按回车键2秒，进入基本参数设置，连续按回车键检查基本参数（n5=389.7，p=15，t=10，ctrl=3，opl=28）。
11、按住向左键不放，然后按回车键，复位、
12、按回车键1秒，检查是否为STEP1，即程序从步开始执行。
13、按住向左键不放，然后按回车键，复位。
14、按向下键2秒，SV显示Run运行程序。
15、按绿色TurnOn键，启动加热电源，观察电流表、电压表：（若工作电流超过150A持续几秒钟，按下Turnoff键断开加热电源，检查功能参数的设定）。
16、在使用惰性气体做工作气体时，升温过程中严密注意压力表，如压力高于0.08MPa，立即打开出口阀放气。
17、在使用氢气做工作气体时，降温过程中要注意监视锥形瓶中出气的情况，如果有倒吸情况，应立即逆顺时针调节流量计旋钮，增加进气量。
18、操作者在升温、保温、降温过程中不得离开，如遇跳闸，要立即合闸供电。
四、CVD管式炉的使用温馨提示：
1、当电炉第1次使用或长期停用后再次使用时，必须进行一次烘炉干燥，烘炉时间为：室温――200℃2小时，200℃――600℃2小时，使用时炉温不得超过zui高温度，以免烧毁电热原件。
2、长期使用时炉温不得超过zui高炉温。
3、电炉和控制器必须在相对湿度不超过85%，没有导电尘埃、爆炸性气体和能够破坏金属绝缘以及对电子原件有害的腐蚀性气体的场所工作。
4、电炉和控制器应在环境温度0～50℃，在搬运时须用导线将仪表后端接线板上“短”与“短”连线接好，以防振动而损坏仪表。
5、禁止向炉膛内灌注各种液体及熔融的金属。
6、取放试样时，应先切断电源，以防触电。
7、定期检查电炉、控制器各接线头接触是否良好，指示仪指针运动时有无卡滞现象，并用电位差计核对指示仪刻度误差是否大。
时间：2022-09-06
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