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蓝宝石晶片有氧/无氧退火解决方案
发布时间:2020-09-11 点击量:97

 

  通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底材料。

  在显示及电子器件中,蓝宝石衬底厚度仅有上百微米,在蓝宝石衬底的切割、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中,尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放,但是这种应力释放是无序释放,同时未释放的加工应力会在晶片表面集聚,影响蓝宝石晶片的翘曲程度,严重的翘曲会在后道加工过程产生破片,影响整个加工循环的晶片质量。

  蓝宝石衬底晶片加工过程中,研磨作业后需要进行退火处理,退火前需对衬底进行清洗,将清洗干净后的衬底放入退火炉中进行高温退火,以去除加工过程中所残余的应力,并消除残余应力所引起的衬底形变。

  皓越科技针对行业需求,潜心研发有氧和无氧衬底退火炉设备,以满足客户加工工艺的要求,创造优越的工业产品。

蓝宝石晶片无氧退火炉 

 蓝宝石晶片有氧退火炉 

特点

  去应力:使蓝宝石便于加工,切屑。

  消除应力集中,避免晶片自动开裂,以及加工中产生裂纹、爆口等。

  退火工艺升温速率不宜过快,直径越大,保温时间应越长;降温时间应大于升温时间,避免再次产生应力。

  去色心:使蓝宝石更透明,透光更好。

 技术参数

 1)无氧退火炉

 2)有氧退火炉

 

 典型应用

 

 

 

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