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快速退火炉的主要功能和特点
发布时间:2022-05-23 点击量:145
   快速退火炉是一个简单稳定的热处理系统,采用进口红外线加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。炉管内尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内,在完成生产工艺的同时,也大大降低了间接污染试样的可能性。
  
  主要功能和特点:
  1、可视化7寸触摸屏,设定数据和操作都是图文界面,操作方便;
  2、炉体配备高精度移动平台,运行平稳无抖动;
  3、炉管可自由移动,且密封法兰之间用搭扣压紧连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能;当炉管移出炉膛时冷确风扇启动,可实现试样的迅速降温,满足材料骤冷骤热的实验要求;
  4、炉膛采用进口多晶纤维真空吸附制成,采用进口红外线加热管加热,使用寿命可达5000小时,升温速度快,最高温度可达1050℃。
  5、预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空系统、混气系统使用;
  6、预留了485转换接口,可通过我司专用软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;
  7、设置超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠。
  
  快速退火炉应用领域:
  1、离子注入/接触退火;
  2、快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
  3、可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;
  4、SiAu,SiAl,SiMo合金化;
  5、低介电材料;
  6、晶体化,致密化;
  7、太阳能电池片键合。
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