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    2021-11

    CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成,大温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。CVD管式炉产品特...

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    2021-11

    PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积反应温度降低,普通CVD设备的沉积温度大多在900℃左右,而在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应,可以使化学气相沉积的温度降到400℃...

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    2021-11

    管式电炉因其结构*,炉管是其重要的关键的部件,也是生产试验过程中的反应场所,工作区域。并且炉管与气体,压力及操作方法都有直接关系。因此管式电炉用过程中一定要注意石英管的使用和维护:1、石英管软化的软化点,持续限值不宜使用过长。2、石英管的耐...

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    2021-11

    气氛管式炉是在某一既定温度下,向沪内通入成分的人工制锋气氛,以达到某种热处理的目的,如气体渗碳,破氛共沙及光亮冲火,退火,E火等。为了控制中内的气部,维持冲内的压力,炉内工空间雠含要与外界空气隔绝,尽量避免凋气和吸入空气,故要求炉完。砚体,...

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