13311665350

新闻资讯

NEWS INFORMATION

当前位置:首页新闻资讯管式炉操作规程

管式炉操作规程

点击次数:4200
 管式炉操作规程:
  1、准备工作
  a,检查电源线接触是否良好
  b,检查连接线是否正常
  c,检查冷却水是否正常
  d,检查密封性是否正常
  e, 准备所需工具:无尘纸、*、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
  2、开炉
  a,打开主电源开关
  b, 向炉体充氩气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板
  c, 将输送车开关打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮,取出 。石墨坩埚,依次放置于石墨推车上输送车开关.
  d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
  3、装料
  a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。
  b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。
  c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门
  4、抽气
  a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封
  b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开管式炉 。阀门,开始抽气测试泄漏率,
  c、当压力表指示为 50Pa是关闭阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开氩气阀门充氩气(20L/min)。
  加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。
  冷却
  a、加热结束后,按工艺条件进行冷却;

关注微信号

移动端浏览
热线电话:13311665350

Copyright © 2024上海皓越真空设备有限公司 All Rights Reserved    备案号:沪ICP备2022033023号-1

技术支持:化工仪器网    管理登录    sitemap.xml    总访问量:568908