管式炉操作规程

时间：2016-08-11

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管式炉操作规程：

　　1、准备工作

　　a,检查电源线接触是否良好

　　b,检查连接线是否正常

　　c,检查冷却水是否正常

　　d,检查密封性是否正常

　　e, 准备所需工具：无尘纸、*、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘

　　2、开炉

　　a,打开主电源开关

　　b, 向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板

　　c, 将输送车开关打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮，取出。石墨坩埚，依次放置于石墨推车上输送车开关.

　　d, 清炉清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物

　　3、装料

　　a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。

　　b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。

　　c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门

　　4、抽气

　　a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封

　　b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开管式炉。阀门，开始抽气测试泄漏率，

　　c、当压力表指示为 50Pa是关闭阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气(20L/min)。

　　加热先打开水环泵再按 RUN，开始工艺加热。

　　冷却

　　a、加热结束后，按工艺条件进行冷却;