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这篇文章帮助你了解CVD管式炉的产品特点以及注意事项
发布时间:2021-11-19 点击量:89
   CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成,大温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
  CVD管式炉产品特点:
  1、控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。
  2、气路快速连接法兰结构采用本公司知识产权设计,提高操作便捷性。
  3、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。
  CVD管式炉使用注意事项:
  1、冷炉使用时,由于管式炉膛是冷的,须大量吸热,所以低温段升温速率不易过快,各温度段的升温速率差别不易太大,设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质,以免出现喷料现象,污染炉管。
  2、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好,应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。
  3、使用或长时间不用后,要在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后使用,以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度,以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属,保持炉内的清洁。
  4、炉膛若采用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明现象,这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷,属正常现象。
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